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Regine晶圆镊子的操作规程

 
  1. 进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。
  2. 唯有使用干净的镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其它原因而遭污染,必须拿去清洗,方可再使用。
  3. Regine晶圆镊子使用后,应放于各站规定处,不可任意放置,如有特殊制程用镊子,使用后应自行保管,不可和实验室内各站之镊子混合使用。
  4. 持Regine晶圆镊子应采"握笔式"姿势挟取芯片。
  5. 挟取芯片时,顺序应由后向前挟取,放回芯片时,则由前向后放回,以免刮伤芯片表面。
  6. 挟取芯片时,"短边" (锯状头)置于芯片正面,"长边" (平头)置于芯片背面,挟芯片空白部分,不可伤及芯片。
  7. 严禁将镊子接触酸槽或D.I WATER水槽中。
  8. 镊子仅可做为挟取芯片用,不准做其它用途。




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